Querstrom-Druckregelventilstrukturen sind aufgrund der verringerten erforderlichen Betätigungskraft und der verringerten Stellfläche der Vorrichtung für Druckregelanwendungen mit hohem Durchfluss attraktiv. Es wurde ein Plattenschieber hergestellt, der einen Durchfluss von 1,3 Nl/min bei einem Versorgungsdruck von 1,5 bar regelt. Das Ventil wurde unter Verwendung von tiefem reaktivem Ionenätzen (DRIE) und Siliziumfusionsbonden mikrogefertigt. Die Verwendung von mikrobearbeiteten Plattenschiebern in Druckregelsystemen verbessert die Leistung und es können Kosteneinsparungen realisiert werden.
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